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J-GLOBAL ID：201102224679552622   整理番号：11A0045794

一方的な模様のついた電極の上でER泥漿を使用している研磨

Polishing using ER slurry on one-sided patterned electrodes

著者 (4件)： KIKUCHI T ,  FUJIWARA J ,  FURUSHO J ,  INOUE A
資料名： INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B
巻： 19  号： 7-9  ページ： 1682-1688  発行年： 2005年 
JST資料番号： O3047A  ISSN： 0217-9792  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 模様 ,  Er ,  泥漿 ,  研磨