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J-GLOBAL ID：201102225153568016   整理番号：11A0612150

NO₂検出のためのテルル感応膜を持つ新しいSAWデバイス

A NEW SAW DEVICE WITH TELLURIUM SENSING FILM FOR NO₂ DETECTION

著者 (4件)： YAN Xuefeng (Inst. Microelectronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LI Dongmei (Inst. Microelectronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LIU Ming (Inst. Microelectronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  YE Tianchun (Inst. Microelectronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名： IET Conference Publications  (IET Conference Publications)
巻： 571  ページ： 146-148  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0665A  ISSN： 0537-9989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,室温でNO₂をダイナミックに検出するためにST-Xクォーツ基板上のテルル(Te)感応膜を用いた新しい表面弾性波デバイスにより実証した。NO₂ガス濃度の機能としてリアルタイム周波数シフトは汎用カウンタにより収集される。SAWデバイスの性能に関するTe膜の厚さを変えることの影響を調査した。60,120と180nmの3つの異なるTe厚さのデバイスを比較した。120nm Te膜を持つデバイスは,非常に短い応答時間と回復時間で1ppm NO₂に反応できることを示した。

シソーラス用語： *テルル ,  膜 ,  *弾性表面波素子 ,  検出 ,  基板 ,  濃度 ,  周波数シフト ,  膜厚 ,  応答時間 ,  時間
準シソーラス用語： SAWデバイス ,  ガス濃度 ,  クォーツ基板 ,  回復時間 ,  感応膜

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (4件)： NO2 ,  テルル ,  感応膜 ,  SAWデバイス