文献

J-GLOBAL ID：201102225630759686   整理番号：11A1138993

CABガラス上のSiO_2薄膜特性に及ぼすアニーリング及びエージング雰囲気の影響

Effect of Annealing and Aging Atmosphere on the Properties of SiO_2 Thin Film on CAB Glass

著者 (4件)： Zhao Hua (China Building Materials Acad., Beijing) ,  Jin Yangli (China Building Materials Acad., Beijing) ,  Zu Chengkui (China Building Materials Acad., Beijing) ,  Han Bin (China Building Materials Acad., Beijing)
資料名： Guisuanyan Tongbao  (Guisuanyan Tongbao)
巻： 29  号： 1  ページ： 116-120  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2439A  ISSN： 1001-1625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 物理蒸着技術によってCABガラス基質上に堆積したSiO_2薄膜を600°Cでアニールし,次いでSiO_2の機械的特性,光学的品質及びfacialモルホロジーを種々の雰囲気で20日のエージング後に解析した。その結果は以下の通りであった:アニーリング及びエージング雰囲気はSiO_2薄膜の形状特性に影響を有していたが,全ての薄膜のfraction係数はCABガラス基質よりも低く,アニールした薄膜の硬度はアニールしない薄膜よりも高かった;薄膜はアニール処理後に可視光域で効果的に反射を防止し,IR透過性が改善された。結果は,可視光域に於ける透過性の向上に基づいて,SiO_2薄膜が効果的にCABガラスを引っかき(scratch)から保護することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： ガラス ,  *薄膜 ,  時効処理 ,  物理蒸着 ,  焼なまし ,  機械的性質 ,  光学 ,  可視光 ,  性質
準シソーラス用語： エージング【時効】 ,  アニール ,  機械的特性 ,  可視光域 ,  透過性

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (6件)： CAB ,  ガラス ,  膜特性 ,  アニーリング ,  エージング ,  雰囲気