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J-GLOBAL ID：201102227005415360   整理番号：11A1103789

炭素膜蒸着の分子動力学研究

Molecular dynamics study on carbon film deposition
著者 (4件)：
MURAMOTO T.

MURAMOTO T. について

(Okayama Univ. of Sci., Ridai-cho 1-1, Okayama 700-0005, JPN)

Okayama Univ. of Sci., Ridai-cho 1-1, Okayama 700-0005, JPN について

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HYAKUTAKE T.

HYAKUTAKE T. について

(Yokohama National Univ., Tokiwadai 79-1, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, JPN)

Yokohama National Univ., Tokiwadai 79-1, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, JPN について

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NISHIDA M.

NISHIDA M. について

(Sojo Univ., Ikeda 4-22-1, Kumamoto 860-0082, JPN)

Sojo Univ., Ikeda 4-22-1, Kumamoto 860-0082, JPN について

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KENMOTSU T.

KENMOTSU T. について

(Doshisha Univ., Tatara Miyakodani 1-3, Kyotanabe 610-0394, JPN)

Doshisha Univ., Tatara Miyakodani 1-3, Kyotanabe 610-0394, JPN について


資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について


巻： 269  号： 14  ページ： 1752-1754  発行年： 2011年07月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*スパッタ蒸着

スパッタ蒸着 について

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計算機シミュレーション

計算機シミュレーション について

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分子動力学

分子動力学 について

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非晶質

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*炭素

炭素 について

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薄膜

薄膜 について


準シソーラス用語：
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*アモルファスカーボン

アモルファスカーボン について


分類 (1件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
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蒸着

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研究

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