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J-GLOBAL ID：201102227177112920   整理番号：11A0154086

アルミ合金自動車部品耐久性向上のための高密度プラズマ窒化技術開発

著者 (9件)： 河野裕 (山梨県工技セ) ,  木島一広 (山梨県工技セ) ,  阿部治 (山梨県工技セ) ,  杉田良雄 (ワイエス電子工業) ,  長谷川均 (ワイエス電子工業) ,  関谷英治 (ワイエス電子工業) ,  中込章公 (ワイエス電子工業) ,  相澤龍彦 (芝浦工大) ,  HOE Foo Jin (芝浦工大)
資料名： 山梨県工業技術センター研究報告  (Report of the Yamanashi Prefectural Industrial Technology Center)
号： 24  ページ： 68-72  発行年： 2010年 
JST資料番号： L0017A  ISSN： 0914-711X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 短時間でアルミ合金の高強度化,耐久性向上を実現するための高密度プラズマ窒化技術の確立を目指し,ガス種や圧力など様々な条件下においても瞬時にプラズマの発生を可能とする,自己整合特性を有したプラズマ装置の開発,および,DC(直流)バイアスによりプラズマを集中させることにより,効率的なプラズマ制御を可能とするプラズマ窒化処理方法についての検討を行った。その結果,低い漏洩電磁界強度と,所望の特性を両立したプラズマ発生装置が試作でき,併せて,独立したDCバイアス印加機構によるDCバイアス印加,およびチェンバ内圧力の制御によるプラズマ制御方法が明らかとなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *アルミニウム合金 ,  部品 ,  *イオン窒化 ,  *表面硬化熱処理 ,  プラズマ ,  プラズマ装置 ,  バイアス ,  装置 ,  磁場 ,  圧力効果 ,  機械的強度 ,  分布 ,  表面硬化 ,  耐久性 ,  自己整合 ,  インピーダンス整合 ,  MOSFET ,  依存性 ,  発光スペクトル ,  省エネルギー
準シソーラス用語： 自動車部品 ,  *プラズマ窒化 ,  高密度プラズマ ,  発生装置 ,  漏洩磁場 ,  硬度分布 ,  バイアス依存性

分類 (1件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E)

引用文献 (1件)：

• P. Visuttipitukul, T. Aizawa: Mater. Trans, Vol.44, No.7, p.1412-1418(2003)

タイトルに関連する用語 (6件)： アルミ合金 ,  自動車部品 ,  耐久性向上 ,  高密度プラズマ ,  窒化 ,  開発