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J-GLOBAL ID:201102231672611697   整理番号:11A0143286

サブ3nmの空気軸受摺動子の浮上性能に及ぼす表面形状の影響

Influences of Surface Topography on the Flying Performances of a Sub-3nm Air Bearing Slider
著者 (4件):
資料名:
巻: 49  号: 12  ページ: 125202.1-125202.6  発行年: 2010年12月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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浮上高さが<3nmの熱突出摺動子の静的及び動的浮上性能に及ぼす表面粗さと波形の影響を調べた。シミュレータでは,空気軸受力と接触力は表面粗さの平均値に比例し,最小浮上高さが特定値と超えた場合,分子間力又は静電力は最も平坦な表面で最小であった。その結果,摺動子への全体の力は特定の最小浮上高さ領域において最も平坦な表面上で最大であった。最小浮上高さをこの領域に設計すると,摺動子の浮上性能が最大になる。エネルギー解析法を用いて,摺動子の動的性能に及ぼす表面波形の影響を調べた。表面波形は摺動子を跳躍状態に励振する可能性を観測した。摺動子を跳躍状態に維持するための運動エネルギーは主に分子間力に由来する一方,空気軸受力は摺動子の安定化に重要な役割をした。摩擦力や接触力などの他の力の寄与も定量的に評価した。摺動子の浮上安定性を改善するためには,分子間力,摩擦力,静電力をできる限り低減する必要がある。(翻訳著者抄録)
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