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J-GLOBAL ID：201102232880595600   整理番号：11A0097988

非晶質SiO₂ガラスの近傍におけるエキシマおよびNd:YAGレーザ誘起SF₆分解

Excimer and Nd:YAG laser-induced SF₆ decomposition at the vicinity of amorphous SiO₂ glass

著者 (2件)： DEHGHANPOUR H. R. (Tafresh Univ., Tefresh, IRN) ,  PARVIN P. (Amirkabir Univ. Technol., Tehran, IRN)
資料名： Applied Physics. B. Lasers and Optics  (Applied Physics. B. Lasers and Optics)
巻： 101  号： 3  ページ： 611-616  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0501B  ISSN： 0946-2171  CODEN： APBOEM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは石英ガラスの近傍のSF₆ガスにエキシマレーザを照射しときの分解を研究している。今回はArFエキシマレーザとQスイッチングNd-YAGレーザを使用して,異なる波長によるSH₆の分解効果を調べた。その結果,エキシマレーザ照射ではSiF₄ガスとS₂F₁₀クラスタが同時に生成されるが,YAGレーザでは生成されないことが分かった。レーザ分光法とFTIRによるガス分析の結果も示した。また,エネルギー分散蛍光X線分析と波長分散X線マッピングを行い,ガラス表面へのフッ素の侵入状況を調べた。

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *光分解 ,  *フッ化硫黄 ,  エキシマレーザ ,  Nd-YAGレーザ ,  *石英ガラス ,  化学分析 ,  レーザ分光法 ,  発光分析 ,  FTIR分光法 ,  エネルギー分散蛍光X線分析 ,  フッ化ケイ素 ,  クラスタ ,  波長依存性 ,  紫外線 ,  可視光
準シソーラス用語： LIBS ,  *多孔質ガラス ,  *六フッ化硫黄

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (8件)： ガラス ,  近傍 ,  エキシマ ,  Nd ,  YAGレーザ ,  誘起 ,  SF6 ,  分解