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J-GLOBAL ID：201102233093104468   整理番号：11A0155381

FIB加工技術の進歩とイオン顕微鏡としての応用

Progress on Focused Ion Beam Fabrication and Scanning Ion Microscopy

著者 (3件)： 杉山昌章 (新日本製鐵) ,  重里元一 (新日本製鐵) ,  池松陽一 (新日本製鐵)
資料名： 新日鉄技報
号： 390  ページ： 14-19  発行年： 2010年12月29日 
JST資料番号： G0186A  ISSN： 0916-7609  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム加工法の技術的進歩は,様々な新しい透過電子顕微鏡用の試料作製技術を生み出してきた。一方で,その高度化は走査イオン顕微鏡像における高分解能化を併せて実現し,組織観察中に,その目的領域の断面組織を立体視することで,三次元的な実態像を類推する走査イオン顕微鏡法の新しい世界を生み出しつつある。また最近では,FIBシリアルセクショニング法として,連続的な断面組織像をコンピュータ内で再構築して真に3Dイメージング像を得る技術が確立し,鉄鋼材料研究への活用が始まっている。別な走査イオン顕微鏡法の応用として,高温その場観察顕微鏡としての技術開発を続けている。金属粒子の融解現象を観察した例を紹介した。(著者抄録)

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *イオン顕微鏡法 ,  立体画像 ,  *鋼材 ,  顕微鏡観察 ,  その場観察 ,  高分解能
準シソーラス用語： イオン顕微鏡

分類 (2件)： 金属組織観察法  (WB01010R) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (5件)：

• 杉山昌章, 岡田守弘, 高田良久, 末広正芳: 日本金属学会誌.65(5), 297(2001)
• Onishi, T., Koike, H., Ishitani, T., Tomimatsu, S., Umemura, K., Kamino, T.: Proc. of 25th Int. Symp. for Testing & Failure Analysis. Santa Carla, California, 14-18 November 1999, p. 449
• 杉山昌章, 重里元一, 池松陽一: 新日鉄技報.(381), 6(2004)
• Sugiyama, M., Sigesato, G.: J. of Electron Microscopy.53(5), 27(2004)
• Shigesato, G., Sugiyama, M.: J of Electron Microscopy.51, 359(2002)

タイトルに関連する用語 (3件)： FIB ,  イオン顕微鏡 ,  応用