原子層堆積法による単結晶酸化亜鉛成長の先行核としてのジメチル亜鉛およびジエチル亜鉛の比較

WACHNICKI L.; LUKASIEWICZ M.; WITKOWSKI B.; KRAJEWSKI T.; LUKA G.; KOPALKO K.; MINIKAYEV R.; PRZEZDZIECKA E.; DOMAGALA J. Z.; GODLEWSKI M.; GODLEWSKI M.; GUZIEWICZ E.

文献

J-GLOBAL ID：201102233347582497 整理番号：11A0190997

原子層堆積法による単結晶酸化亜鉛成長の先行核としてのジメチル亜鉛およびジエチル亜鉛の比較

Comparison of dimethylzinc and diethylzinc as precursors for monocrystalline zinc oxide grown by atomic layer deposition method

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巻： 247 号： 7 ページ： 1699-1701 発行年： 2010年07月
JST資料番号： C0599A ISSN： 0370-1972 CODEN： PSSBBD 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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