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J-GLOBAL ID：201102233677206700   整理番号：11A1373976

基質表面における表面分子汚染物質(SMCS)評価に関する分析の信頼性検証

ANALYTICAL RELIABILITY VALIDATION OF SURFACE MOLECULAR CONTAMINANTS (SMCS) EVALUATION ON SUBSTRATE SURFACE

著者 (4件)： MURAKAMI Masashi (Sumika Chemical Analysis Serv., LTD) ,  NONAKA Tatsuo (Sumika Chemical Analysis Serv., LTD) ,  IIKAWA Reiko (Sumika Chemical Analysis Serv., LTD) ,  FUJIMOTO Taketoshi (Sumika Chemical Analysis Serv., LTD)
資料名： Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo  (Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo)
ページ： 145-148  発行年： 2010年 
JST資料番号： M20110004  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *固体素子 ,  表面 ,  *汚染物質 ,  *分析 ,  信頼性 ,  品質管理

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 基質 ,  分子 ,  汚染物質 ,  評価 ,  分析 ,  検証