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J-GLOBAL ID：201102237791226155   整理番号：11A0820178

渦電流式リニアエンコーダの開発のための基礎的検討

Fundamental Study on Developing Eddy Current Linear Encoders

著者 (5件)： 五十嵐崇人 (八戸工業高等専門学校) ,  野中崇 (八戸工業高等専門学校) ,  佐藤文博 (東北大学大学院工学研究科) ,  佐藤忠邦 (東北大学大学院医工学研究科) ,  松木英敏 (東北大学大学院医工学研究科)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 35  号： 2  ページ： 56-59 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 1882-2924  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 100μm程度の分解能で,10nm程度のスケール-検出ヘッド間ギャップでも使用可能な渦電流式リニアエンコーダを提案し,実験から,10mmの目盛間隔ではギャップが10mmでも検出できることを確認した。フェライト長による影響と目盛間隔と検出コイルサイズの依存性をシミュレーションで予測したが,許容ギャップと目盛間隔に依存性があり,目盛間隔のみの分解能向上では目標分解能とギャップの達成は難しいと確認した。

シソーラス用語： 渦電流 ,  *センサ ,  *変位測定 ,  測長器 ,  位置センサ ,  *磁心 ,  励磁 ,  *フェライト ,  *渦電流検査 ,  リニアエンコーダ
準シソーラス用語： フェライトコア ,  励磁コイル

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• 1) The Japan Society for Precision Engineering Technical Committee of Ultra Precision Positioning: Jisedai seimitsu ichigime gijutsu (in Japanese), pp.80-81, 128, 404-418, 431-438 (Fuji Techno System, Tokyo, 2000).
• 2) The Robot Society of Japan: Robotics Handbook, pp.61-69 (Corona Publishing CO., LTD., Tokyo, 1990).
• 3) H. Itou, M. Selizawa, T. Hirosima, H. Hoshikawa, S. Miyoshi, T. Mori, M. Yoshikawa: Karyutansyousiken (in Japanese), The Japanese Society for Non-Destructive Inspection, pp.40-71 (1977).
• 4) T. Nonaka, H. Yoshimi, F. Sato, H. Matsuki, and T. Sato: IEEE Trans. on Magn., 39, pp.3346-3348 (2003).
• 5) K. Nakamura, S. Yamada, M. Iwahara, and T. Taniguchi: J. Magn. Soc. Jpn., 27, pp.393-396 (2003)

タイトルに関連する用語 (4件)： 渦電流 ,  リニアエンコーダ ,  開発 ,  基礎的検討