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J-GLOBAL ID：201102238782228117   整理番号：11A1373965

FOUP内の大気中分子汚染の監視ととその清浄度パラメータのモニタリング

MONITORING OF AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION IN FOUP AND ITS CLEANING PARAMETERS

著者 (3件)： LEE Eungsun (Withtech, Inc., Daejeon, KOR) ,  JU Younghee (Withtech, Inc., Daejeon, KOR) ,  YOO Seoung-Kyo (Withtech, Inc., Daejeon, KOR)
資料名： Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo  (Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo)
ページ： 89-94  発行年： 2010年 
JST資料番号： M20110004  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *空気浄化 ,  半導体プロセス ,  *運搬容器 ,  ウエハ【IC】 ,  大気汚染物質 ,  清浄度 ,  *汚染監視
準シソーラス用語： *FOUP

分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： FOUP ,  大気中 ,  分子 ,  汚染 ,  清浄度 ,  パラメータ ,  モニタリング