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J-GLOBAL ID：201102239441172632   整理番号：11A0386139

SIOCHベースのPECVDフィルムのサブナノ孔の可変エネルギー陽電子消滅研究

Variable-energy positron annihilation study of subnanopores in SIOCH-based PECVD films

著者 (5件)： ITO K ,  OKA T ,  KOBAYASHI Y ,  SUZUKI R ,  OHDAIRA T
資料名： RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY
巻： 76  号： 2  ページ： 213-216  発行年： 2007年 
JST資料番号： O5761A  ISSN： 0969-806X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： PECVD ,  フィルム ,  サブ ,  ナノ孔 ,  可変 ,  エネルギー ,  陽電子消滅 ,  研究