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J-GLOBAL ID：201102239734701575   整理番号：11A0595099

大面積グラフェンベースの透明導電膜に関する表面波プラズマ化学蒸着を用いた低温合成

Low-temperature synthesis of large-area graphene-based transparent conductive films using surface wave plasma chemical vapor deposition

著者 (6件)： KIM Jaeho (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...) ,  ISHIHARA Masatou (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...) ,  KOGA Yoshinori (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...) ,  TSUGAWA Kazuo (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...) ,  HASEGAWA Masataka (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...) ,  IIJIMA Sumio (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tukuba Cetral 5, 1-1-1 Higashi ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 98  号： 9  ページ： 091502  発行年： 2011年02月28日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,グラフェンベースの透明導電膜について,表面波プラズマ化学蒸着を用いた,低温(300~400°C),大面積(23cm×20cm)での効果的合成法を提示した。これら薄膜は少数シートのグラフェンからなる。その透明性および電気伝導特性は,これら薄膜を,実用的な電気応用およびオプトエレクトロニクス応用に対して適切なものとした。応用の一例は,これら薄膜を用いて製造したタッチパネルの適切な作動である。本研究結果は,著者らの方法が,巨視的スケールのグラフェンベース薄膜について,産業としての大量生産に適していることを確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *プラズマCVD ,  *単一層 ,  プラズマ ,  電気伝導率 ,  入力装置 ,  大量生産 ,  *グラフェン
準シソーラス用語： タッチパネル ,  表面波プラズマ

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大面積 ,  グラフェン ,  透明導電膜 ,  表面波プラズマ ,  化学蒸着 ,  低温合成