文献

J-GLOBAL ID：201102240681985027   整理番号：11A1088856

多結晶太陽ウエハ画像における自動的鋸歯状痕検出

Automatic saw-mark detection in multicrystalline solar wafer images

著者 (2件)： LI Wei-chen (Dep. of Industrial Engineering and Management, Yuan-Ze Univ., 135 Yuan-Tung Road, Nei-Li, Tao-Yuan, Taiwan 32003, R.O.C.) ,  TSAI Du-ming (Dep. of Industrial Engineering and Management, Yuan-Ze Univ., 135 Yuan-Tung Road, Nei-Li, Tao-Yuan, Taiwan 32003, R.O.C.)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 95  号： 8  ページ： 2206-2220  発行年： 2011年08月 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 特に多結晶太陽電池用ウエハを中心にして,光起電力工業における自動的欠陥検査法を紹介した。太陽電池表面の鋸歯状欠陥を自動検出する装置視力をベースにした方法を提案した。鋸歯状欠陥は,シリコンインゴットをウエハに切断する際に生じる重大な欠陥である。ウエハ切断工程における鋸歯状欠陥の初期検出により材料の浪費を低減し,生産収率を改善できる。多結晶太陽電池用ウエハ表面には,形状,サイズと配向がランダムな結晶粒が存在して,鋸歯状欠陥の自動検出を極めて困難にしている。提案する鋸歯状痕検出法には2種類の処理が含まれ,一つはFourier 画像再構成により太陽電池ウエハ画像の多重粒背景を除去すること,第二は再構成した画像の線状検出工程により,鋸歯状痕の位置を同定する。Fourier 変換を利用して,結晶粒パターンを除去して,再構成画像に非組織化表面を発生させる。鋸歯状痕はスライスしたウエハの水平方向に分布するため,再構成した画像の垂直走査線は,ライン検出工程で個別に評価する。検査線から遠く離れたピクセルは,欠陥点として有効に同定できる。実験結果から,提案した方法により,多結晶太陽電池用ウエハ内の様様な鋸歯状痕欠陥,特に黒色線,白色線,および不純物を有効に検出できることを示した。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *多結晶 ,  *太陽電池 ,  *ウエハ【IC】 ,  *欠陥検査 ,  *自動化 ,  *ケイ素 ,  切断 ,  画像再構成 ,  Fourier変換

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多結晶 ,  太陽 ,  ウエハ ,  鋸歯状