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J-GLOBAL ID：201102241873551620   整理番号：11A0946720

横方向に等方的な薄膜の弾性パラメータのナノインデンテーションとFEM解析の組合せによる同定

Identification of elastic parameters of transversely isotropic thin films by combining nanoindentation and FEM analysis

著者 (5件)： WANG J.S. ,  ZHENG X.J. ,  ZHENG H. ,  SONG S.T. ,  ZHU Z.
資料名： Computational Materials Science  (Computational Materials Science)
巻： 49  号： 2  ページ： 378-385  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0443A  ISSN： 0927-0256  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： 横方向 ,  薄膜 ,  弾性パラメータ ,  ナノインデンテーション ,  FEM解析 ,  組合せ ,  同定