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J-GLOBAL ID：201102242523719789   整理番号：11A0096886

ローカル・メタル・インターコネクトの基本原則の緩みを意識した許容誤差駆動型・光学的近接効果補正

Ground Rule Slack Aware Tolerance-Driven Optical Proximity Correction for Local Metal Interconnects

著者 (3件)： BANERJEE Shayak ,  AGARWAL Kanak ,  ORSHANSKY Michael
資料名： Proceedings of the IEEE Custom Integrated Circuits Conference  (Proceedings of the IEEE Custom Integrated Circuits Conference)
巻： 2010  ページ： 197-200  発行年： 2010年 
JST資料番号： H0843A  ISSN： 0886-5930  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 回路パターンの設計で,設計規則は満足しているが作製が困難であるという形状が生じる問題への対応を論じた。本文では,基本原則を緩めて許容誤差を個々のレイアウト形状に反映させる,ローカル・メタル配線の形成方法を述べた。また,このような許容誤差に関する知識を利用して所定のレイアウトにとり最適な光学的マスクを作る,許容誤差駆動型・光学的近接効果補正アルゴリズムの開発を述べた。この手法により,プロセス・ウィンドウ・光学的近接効果補正に比べて,リソグラフィーによるホットスポットを59%減らせるという結果を示した。

シソーラス用語： *集積回路 ,  回路パターン形成 ,  回路設計 ,  *配線 ,  相互接続 ,  近接効果 ,  補正
準シソーラス用語： インタコネクト

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (8件)： メタル ,  インターコネクト ,  原則 ,  緩み ,  意識 ,  許容誤差 ,  光学 ,  近接効果補正