文献

J-GLOBAL ID：201102243026676967   整理番号：11A1453548

ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を接合積層した大変位ポリマーMEMSの製作プロセス開発

Development of Fabrication Process for Large-Displacement Polymer MEMS with Stacked Movable Structures Based on Hot Embossing and Polishing

著者 (3件)： 天谷諭 (立命館大 大学院理工学研究科) ,  DAO Viet Dzung (立命館大 総合理工学研究機構) ,  杉山進 (立命館大 立命館グローバル・イノベーション研究機構)
資料名： エレクトロニクス実装学会誌  (Journal of Japan Institute of Electronics Packaging)
巻： 14  号： 6  ページ： 507-512  発行年： 2011年09月01日 
JST資料番号： S0579C  ISSN： 1343-9677  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,ホットエンボスと研磨加工を用いたポリマーMEMSデバイス製作プロセスの開発について報告する。開発した製作プロセスは,まず2段構造のSi型を製作し,デバイス構造をホットエンボスにより成形した。その後,成形した試料と基板となるPMMA板とを表面活性化法により接合した。接合後の試料上面には,ホットエンボス後に残る残膜があり,これを研磨加工によって除去した。最後に,デバイス表面にAuをスパッタリングによってコーティングした。この製作プロセスを適用し,V字ビームをもつPMMA製熱駆動マイクロアクチュエータを製作・評価し,デバイス材料をSiとした場合に比べ10倍大きく変位することを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *エンボス加工 ,  *研磨 ,  *MEMS ,  *高分子膜 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  活性化 ,  金 ,  スパッタリング ,  被覆 ,  マイクロアクチュエータ ,  可動型 ,  駆動
準シソーラス用語： ホットエンボス加工 ,  表面活性化 ,  熱駆動

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (12件)：

• 1) 倉林活夫:“「ポリマーMEMS」をSi上に形成“柔軟・透明”を生かしバイオ・光へ,”NIKKEIMICRODEVICES, May, 2005, pp. 71–76
• 2) A. Yeniay, R. Gao, K. Takayama, R. Gao, and A. Garito: “Ultra-Low-Loss Polymer Waveguides,” IEEE J. Lightwave Technology, Vol. 22, pp. 154–158, 2004
• 3) H. Shinohara, Y. Takahashi, T. Nishi, K. Uemura, C. Takahashi, J. Mizuno, and S. Shoji: “Surface Hydrophilic Polyurea Film for PMMA Blood Analysis Chip Realized by Vacuum Ultraviolet Light Irradiation,” Tech. Digest Transducers '07, pp. 291–294
• 4) C.-L. Chen, S. Jinno, H. Möller, B. Rajalingam, S.-H. Chao, S. Selvarasah, A. Khademhosseini, and M. R. Dokmeci: “Multiplayer Parylene-C Stencils for Dynamically Controlling Cell Interactions,” Proceedings of MEMS 2008, pp. 276–279
• 5) Y. Zhao and T. Cui: “Fabrication of High-Aspect-Ratio Polymer Based Electrostatic Comb Drives Using the Hot Embossing Technique,” J. Micromech. Microeng., Vol. 13, pp. 430–435, 2003

タイトルに関連する用語 (7件)： エンボス ,  研磨加工 ,  大変位 ,  ポリマー ,  MEMS ,  製作プロセス ,  開発