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J-GLOBAL ID：201102244555804136   整理番号：11A1593241

某電子デバイス工場におけるケミカルエアワッシャの性能評価

著者 (4件)： 伊藤康孝 (ダイダン 技研) ,  中村真 (ダイダン 技研) ,  笹木寿男 (ダイダン) ,  服部正盛 (ダイダン)
資料名： ダイダン技報  (Dai-dan Technical Current News)
号： 105  ページ： 58-61  発行年： 2011年09月 
JST資料番号： L0276A  ISSN： 0914-8264  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子デバイス工場などの先端産業では,外気中に含まれる化学物質が製造環境(クリーンルーム)内に入り込むと,歩留まりに影響することがある。そこで外気処理用空調機(以下外調機)にケミカルエアウォッシャーを組み込み,化学物質の除去を行う方法が一般的に採用されている。一方ワッシャーに関する実測データは少なく,その性能はカタログデータで判断するしかなかった。そこでガス汚染に関する実測データを整理しておく必要性にかられて某電子デバイス工場でのワッシャーの性能評価を実施した。その結果次の知見を得た。1)イオン成分はよく除去できているが,アウトガスに注意しなければならない,2)金属のボロンはワッシャでは除去できなかった,3)非水溶性の有機物は除去できなかったが,一部の水溶性のアルコール成分を除去できることを確認した。

シソーラス用語： 電子回路 ,  生産工場 ,  *クリーンルーム ,  *空気調和装置 ,  フィルタ ,  *空気濾過器 ,  性能評価 ,  *現場試験 ,  *測定データ ,  予測誤差 ,  GC-MS分析 ,  イオン ,  汚染物質 ,  気体 ,  ホウ素 ,  有機物 ,  水溶性 ,  アルコール ,  アウトガス
準シソーラス用語： ケミカルフィルタ ,  エアワッシャ ,  ボロン

分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子デバイス ,  工場 ,  ケミカル ,  エアワッシャ ,  性能評価