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J-GLOBAL ID:201102245405046264   整理番号:11A0174642

多様な磁気特性を示す三成分系フェライトの直接原子層堆積

Direct Atomic Layer Deposition of Ternary Ferrites with Various Magnetic Properties
著者 (4件):
資料名:
巻: 22  号: 24  ページ: 6506-6508  発行年: 2010年12月28日 
JST資料番号: T0893A  ISSN: 0897-4756  CODEN: CMATEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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鉄(II),コバルト(II),ニッケル(II)のシクロペンタジエニル錯体およびオゾン酸化剤を原料とする原子層堆積によりMxFe3-xO4薄層(M=Co,Ni)を作製した。X線回折,原子間力顕微鏡,磁化曲線測定によりキャラクタリゼーションを行った。コバルトフェライト膜は硬磁性であり,結晶構造および磁気的性質は組成に依存し,Feが最小の膜はCo2Feスピネルに相当し,保磁力および飽和磁化が最小であるが,鉄の増大に伴い単調増大し,バルクCoFe2O4に近づく。ニッケルフェライト膜は軟磁性であるが,アニーリングにより保磁力,飽和磁化が増大した。コバルトフェライト膜の熱処理効果は顕著でない。容易に入手できる原料により室温で空気安定な磁性膜が調製できることを強調した。
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分類 (5件):
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酸化物薄膜  ,  酸化物結晶の磁性  ,  コバルトとニッケルの錯体  ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  ,  固-気界面一般 
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