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J-GLOBAL ID：201102246771822036   整理番号：11A0174651

高性能光学のためのアノード酸化ナノコーンを用いる人工空洞蛾眼構造

Design of Artificial Hollow Moth-Eye Structures Using Anodic Nanocones for High-Performance Optics

著者 (7件)： WU Chia-Tien (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  LIN Chun-Hung (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN) ,  CHENG Chieh (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  WU Chung-Shu (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  TING Huai-Chen (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHANG Feng-Chih (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  KO Fu-Hsiang (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 22  号： 24  ページ： 6583-6589  発行年： 2010年12月28日 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス,窒化アルミニウムまたはサファイヤ基板上にタンタルスパッタ膜,続いてアルミニウム蒸着膜を積層し,過塩素酸/エタノール溶液中の二段階アノード酸化により多孔質酸化膜を製造した。走査電子顕微鏡,透過型電子顕微鏡,X線光電子スペクトルによりキャラクタリゼーションを行った。200nm周期の空洞ナノコーンアレイが生成し,タンタル膜厚により細孔率の制御が可能である。ガラス基板の透過率97.8%,反射率10%(入射角70°)を達成した。他の基板についても広い波長範囲,入射角について表面反射防止層として働き,機械的耐久性も高いことを確かめた。

シソーラス用語： *生体モデル ,  *複眼 ,  ガ ,  *ナノ構造 ,  アレイ ,  *空洞 ,  窒化アルミニウム ,  サファイア ,  タンタル ,  スパッタリング ,  アルミニウム ,  蒸着膜 ,  積層構造 ,  過塩素酸 ,  多孔質体 ,  酸化膜 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  X線光電子スペクトル ,  膜厚 ,  体積 ,  透過率 ,  反射率 ,  入射角 ,  反射 ,  反射防止膜 ,  耐久性
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  *ナノコーン ,  *ナノ空洞 ,  細孔容積 ,  反射防止被覆 ,  表面反射

分類 (5件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  視覚  (EJ13020B)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高性能 ,  光学 ,  アノード酸化 ,  ナノコーン ,  人工 ,  空洞 ,  蛾 ,  眼