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J-GLOBAL ID：201102247679577021   整理番号：11A0366462

複合標的スパッタリングシステムによる超伝導MgB2薄膜の簡単な製作

A simple preparation of superconducting MgB2 thin films by composite-target sputtering system

著者 (4件)： AKINAGA M ,  UMEDA S ,  HASEGAWA H ,  SHIRASAWA T
資料名： PHYSICA C-SUPERCONDUCTIVITY AND ITS APPLICATIONS
巻： 388  ページ： 119-120  発行年： 2003年 
JST資料番号： O5338A  ISSN： 0921-4534  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 標的 ,  スパッタリング ,  伝導 ,  MgB2 ,  薄膜 ,  製作