文献

J-GLOBAL ID：201102250664075136   整理番号：11A1593239

超臨界CO₂を用いた有機用フィルタの洗浄再生技術~再生フィルタの実機採用報告~

著者 (4件)： 中野一樹 (ダイダン 技研) ,  前野孝久 (ダイダン 技研) ,  伊藤康孝 (ダイダン 技研) ,  山田正也 (ダイダン 技研)
資料名： ダイダン技報  (Dai-dan Technical Current News)
号： 105  ページ： 47-52  発行年： 2011年09月 
JST資料番号： L0276A  ISSN： 0914-8264  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子デバイス工場などのクリーンルームでは外気処理や循環空気処理を目的として,有機ガス除去用のケミカルフィルタが使用されている。汚れたこの有機用フィルタは除去性能が低下すると廃棄処分されている。しかし,社会的背景は産業廃棄物を少なくする方向に動いている。そこで,今まで再生できなかった使用済み有機用フィルタを,長臨界C02を用いて洗浄再生する技術の開発を当研究所では行ってきた。本報では,再生した有機用フィルタが某電子デバイス工場クリーンルームの外調機に採用された事例を報告した。再生品の除去効率(フィルタ性能)や吸着容量(寿命)を測定した結果,新品同等まで快復しており,繰り返し再生できる可能性も示唆された。再生品を実機に設置後のオンサイトにおけるアウトガスの評価でも新品同等の評価を得ている。

シソーラス用語： 有機化合物 ,  除去 ,  *フィルタ ,  二酸化炭素 ,  *超臨界流体 ,  *洗浄 ,  *再生 ,  クリーンルーム ,  *実物試験 ,  アルキルベンゼン ,  汚染物質 ,  気体 ,  吸着 ,  性能評価 ,  化学組成 ,  廃物利用 ,  操業費 ,  集塵効率 ,  超臨界二酸化炭素 ,  アウトガス ,  原価
準シソーラス用語： *ケミカルフィルタ ,  超臨界CO2

分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

引用文献 (6件)：

• 1)環境白書 (平成23年度版), 環境省, pp.234-237, 2011.
• 2)中村真, "超臨界二酸化炭素を洗浄溶媒に用いるエアフィルタ再生技術", 超臨界流体技術の開発と応用, シーエムシー出版, pp.264-272, 2008.
• 3)中村真,田村和也, "超臨界二酸化炭素を利用した有機用ケミカルフィルタの洗浄再生", 工業材料, Vol.57, No.3, pp.46-50, 2009.
• 4)田村和也, "超臨界二酸化炭素を洗浄溶媒とする大型洗浄装置の開発~各種VOC吸着剤の再生技術~", 二酸化炭素の有効利用技術, Science & Technology, 2010.
• 5)猪股宏他, 超臨界流体入門, 化学工学会超臨界流体部会, pp.1-5, 2008

タイトルに関連する用語 (4件)： 超臨界CO2 ,  洗浄 ,  採用 ,  報告