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文献
J-GLOBAL ID:201102251240654892   整理番号:11A1884834

高圧で生成された広領域VHFプラズマの制御

Control of large area VHF plasma produced at high pressure
著者 (8件):
資料名:
巻: 519  号: 20  ページ: 6931-6934  発行年: 2011年08月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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高圧における非常に高い周波数(VHF)放電プラズマの制御は,VHFプラズマ(周波数60MHZ)が生成されたマルチロッド電極の終わりまで可変コンデンサをロードすることによって試みた。放電領域が可変コンデンサによって制御された,そして,1m以上均一なVHFプラズマが高圧で生成されることが判明した。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
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放電装置  ,  気体放電 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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