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J-GLOBAL ID：201102251438959125   整理番号：11A0320555

摩擦ナノリソグラフィー誘導のシリコン表面のエッチストップ層

Etch stop of silicon surface induced by tribo-nanolithography

著者 (6件)： KAWASEGI N ,  MORITA N ,  YAMADA S ,  TAKANO N ,  OYAMA T ,  ASHIDA K
資料名： NANOTECHNOLOGY
巻： 16  号： 8  ページ： 1411-1414  発行年： 2005年 
JST資料番号： O4850A  ISSN： 0957-4484  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 摩擦 ,  ナノリソグラフィー ,  誘導 ,  シリコン ,  エッチ ,  ストップ層