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J-GLOBAL ID：201102251921452724   整理番号：11A0369288

酸素ガスクラスタイオンビーム援用堆積法によって採取される金属酸化物薄膜の照角蛍光XAFS研究

Glancing angle fluorescence XAFS study on metal oxide thin films obtained by oxygen gas cluster ion beam assisted deposition techniques

著者 (10件)： KAGEYAMA H ,  ASANUMA T ,  TAKEUCHI T ,  KADONO K ,  MATSUO J ,  SEKI T ,  KITAGAWA T ,  TOYODA N ,  SHIMIZUGAWA Y ,  URUGA T
資料名： PHYSICA SCRIPTA
巻： T115  ページ： 504-506  発行年： 2005年 
JST資料番号： O5344A  ISSN： 0031-8949  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： 酸素 ,  ガスクラスタイオンビーム ,  援用 ,  堆積 ,  採取 ,  金属酸化物薄膜 ,  蛍光 ,  XAFS ,  研究