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J-GLOBAL ID：201102252507850528   整理番号：11A1138972

固定砥粒研磨パッドを用いるK9ガラスのラッピングに関する研究

Study on Lapping of K9 Glass by Fixed Abrasive Pad

著者 (5件)： Lin Kui (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Zhu Yongwei (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Li Jun (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Li Mao (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Zuo Dunwen (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing)
資料名： Guisuanyan Tongbao  (Guisuanyan Tongbao)
巻： 29  号： 1  ページ： 6-11  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2439A  ISSN： 1001-1625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 光学材料のラッピング効率及び品質を改良するために,親水性固定砥粒研磨パッド(FAP)ラッピング法を導入した。径が5~10μmのダイヤモンド研磨剤を埋め込んだ固定砥粒研磨パッドを,パターン転写及びUV硬化プロセスによって開発した。材料除去率(Material Removal Rate,MRR)及び平均表面粗度(Sa)を用いてラッピング又はポリッシングの性能を評価した。同じ粒子サイズの研磨剤を用いるK9ガラスの従来のラッピング,固定砥粒研磨ペレットラッピング,及び親水性FAPラッピングを比較した。その結果,親水性FAPラッピングのMRRは350nm/minで,平均表面粗度Saは3.24nmであることが判明した。2つのパラメータの双方は仕上げラッピング及びポリッシングの品質に達成していた。固定砥粒研磨ペレット及び親水性FAPの材料除去モデルを実験結果によって推論した。加えて,親水性FAPラッピングの自己調節機構が得られた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *切削工具 ,  砥粒 ,  ガラス ,  ラッピング ,  光学材料 ,  研磨剤 ,  粗度 ,  親水性
準シソーラス用語： *研磨パッド ,  固定砥粒

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 固定砥粒 ,  研磨パッド ,  ガラス ,  ラッピング ,  研究