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J-GLOBAL ID：201102254723068551   整理番号：11A0800041

電気接点材料としてのTi-Si-C-Agナノ複合材料被膜の蒸着

Deposition of Ti-Si-C-Ag nanocomposite coatings as electrical contact material

著者 (9件)： LAURIDSEN Jonas (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  LU Jun (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  EKLUND Per (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  HULTMAN Lars (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  OEBERG Ake (ABB Corporate Res., Vaesteras, SWE) ,  LINDGREN Mats (SP Technical Res. Inst. Sweden, Boras, SWE) ,  FAST Lars (SP Technical Res. Inst. Sweden, Boras, SWE) ,  LEWIN Erik (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  JANSSON Ulf (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts  (Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts)
巻： 56th  ページ： 288-294  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0462C  ISSN： 1062-6808  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質炭化珪素(SiC)中に埋込んだ炭化チタン(TiC)ナノ結晶からなるナノ複合材料(銀を0~22at.%含む)被膜をマグネトロンスパッタリングで作製し,その微細構造,電気的性質,機械的性質を調べた。典型的なバイアスと圧力による蒸着は微細構造に影響を与えなかった。しかし,1.9~2.65Nの接点力における接触抵抗は400~900mΩの範囲で変化した。銀含有率が最大である被膜で最小の接触抵抗を得た。

シソーラス用語： 炭化ケイ素 ,  *接点材料 ,  *ナノ複合材料 ,  薄膜成長 ,  マグネトロンスパッタリング ,  微細構造 ,  電気接点 ,  ナノ構造 ,  接触抵抗 ,  銀 ,  ドーピング ,  電子顕微鏡観察 ,  炭化チタン ,  銀含有合金 ,  濃度依存性
準シソーラス用語： *電気接点材料

分類 (1件)： 電気接点  (NA05070V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電気接点材料 ,  Ti ,  Si ,  Ag ,  ナノ複合材料 ,  被膜 ,  蒸着