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J-GLOBAL ID:201102255599395278   整理番号:11A1274234

BCl_3-C_3H_6-H_2システムのための安定性ダイアグラムに関する研究

RESEARCH ON STABILITY DIAGRAMS FOR BCl_3-C_3H_6-H_2 SYSTEM
著者 (6件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 964-968  発行年: 2010年 
JST資料番号: W1454A  ISSN: 0454-5648  CODEN: KSYHA5  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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BCl_3-C_3H_6-H_2システムのための安定性熱力学線図を計算した。安定した図表における製品タイプ及び反応固体生成物の分布領域に及ぼす反応物質分圧,全圧,および析出温度の影響を論じた。結果は以下の通りである:(1)析出タイプおよび反応固体生成物の分布領域に影響する最も重要な因子は,全圧である。全圧が増加すると,安定線図は複雑になり,原子状ホウ素の領域は増加し,B+B_4CとB_4C+Cの領域は低下し,B4Cの領域は著しい変化を全く見せず,そして,すべて蒸着の分布領域は図表の右方に移動する。(2)固体生成物反応からの析出中の元素量は反応物質分圧によって影響を及ぼされる。C_3H_6圧力の増加につれて,析出組成が,高ホウ素含量から高炭素含量へ,すなわちB又はB+B_4C領域からB_4C+C領域へ,変化する。(3)析出温度は,800~1200°Cの温度範囲内では,明白な影響を持っておらず,それは沈着過程が熱力学的因子によって制御されないことを示している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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相平衡・状態図一般 
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