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J-GLOBAL ID：201102256097512595   整理番号：11A1178975

スパッタリングの斜め配向入射方向により蒸着したLC無機アラインメント層の均一性増強

Uniformity Enhancement of LC Inorganic Alignment Layer Deposited by the Obliquely Oriented Incidence Direction of Sputtering

著者 (5件)： KIM Jungho (Daegu Gyeongbuk Inst. Sci. and Technol.(DGIST), Daegu, KOR) ,  LEE Gwang-Jun (Daegu Gyeongbuk Inst. Sci. and Technol.(DGIST), Daegu, KOR) ,  YANG Kee-Jeong (Daegu Gyeongbuk Inst. Sci. and Technol.(DGIST), Daegu, KOR) ,  LYU Hong-Kun (Daegu Gyeongbuk Inst. Sci. and Technol.(DGIST), Daegu, KOR) ,  CHOI Byeong-Dae (Daegu Gyeongbuk Inst. Sci. and Technol.(DGIST), Daegu, KOR)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops  (Proceedings of the International Display Workshops)
巻： 17th  号： Vol.1  ページ： 85-87  発行年： 2010年 
JST資料番号： L4269A  ISSN： 1883-2490  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 真空蒸着 ,  入射角 ,  薄膜 ,  *分子配向 ,  *液晶 ,  液晶ディスプレイ ,  RFスパッタリング
準シソーラス用語： LCD【表示装置】 ,  アラインメント層 ,  *斜め蒸着

分類 (2件)： 液晶一般  (BK03010L) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタリング ,  配向 ,  入射方向 ,  蒸着 ,  アラインメント層 ,  均一性 ,  増強