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J-GLOBAL ID：201102256491785408   整理番号：11A1575800

三次周波数温度曲線および優れた経時特性をもつ高安定性SAW発振器

High-Stability SAW Oscillators with Cubic Frequency Temperature Curve and Excellent Aging Characteristics

著者 (5件)： YAMANAKA Kunihito (Epson Toyocom Corp., Tokyo, JPN) ,  OBATA Naohisa (Epson Toyocom Corp., Tokyo, JPN) ,  MORITA Takao (Epson Toyocom Corp., Tokyo, JPN) ,  MAEDA Yoshio (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  KANNA Shigeo (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2010 Vol.2  ページ： 868-871  発行年： 2010年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,AT発振器と匹敵する高精度SAW発振器を実現するSAW共振器の開発を検討した。面内回転STカット水晶を用い,阻止帯域の上端に共振モードをもつSAW共振器においてより薄い電極膜厚みを設定し,電極間の水晶部分上の溝構造に関して調べ,以下のことを見出した。1)溝構造において電極膜厚みをより薄くすることにより,優れた長期安定性が可能であった。2)電極厚みおよび溝深さを調整することにより,二次温度係数を消去できた。3)上端上のこの共振モードにより高Q値を得ることは困難であるが,FEM解析を用いリフレクタの最善設計により高Q値を得た。作成したSAW共振器は,三次周波数温度曲線,室温に近い28°Cの変曲点をもち,-40°C~+85°Cの広温度範囲で11ppmの極めて小さな周波数変動を得た。ATカット水晶共振器と同じ周波数温度特性を達成した。

シソーラス用語： 周波数 ,  *経時変化 ,  安定性 ,  *弾性表面波 ,  共振器 ,  電極 ,  溝 ,  温度係数 ,  Q値 ,  水晶発振器 ,  ATカット
準シソーラス用語： *FEM解析 ,  SAW ,  *SAW共振器 ,  レフレクタ ,  水晶 ,  阻止帯域 ,  変曲点

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲線 ,  経時 ,  安定性 ,  SAW発振器