文献

J-GLOBAL ID：201102256496069859   整理番号：11A0096525

太陽電池製造と洗浄技術 太陽電池洗浄への超音波の適用

著者 (1件)： 岡野勝一 (カイジョー)
資料名： 産業洗浄  (Industrial Cleaning)
号： 6  ページ： 22-24  発行年： 2010年09月30日 
JST資料番号： L7969A  ISSN： 2188-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 太陽電池用シリコンにおいては,近年ウェーハの薄膜化によりウェーハ割れを懸念してより高い周波数の超音波が使用されている。従来の低周波数で粗洗浄,高周波数で精密洗浄というような単純な選択だけでなく,被洗浄物へのダメージも考慮した周波数の使い分けがされており,下記事項などについて解説した。1)最近の太陽電池用シリコン洗浄の考え方,2)超音波による物理現象,3)超音波洗浄の現有問題と解決手法,4)超音波洗浄の最適化,5)超音波洗浄の太陽電池洗浄への応用(洗浄剤の改善,超音波の高周波化)。

シソーラス用語： *洗浄 ,  *生産工程 ,  *太陽電池 ,  *超音波洗浄 ,  *洗浄力 ,  *最適化 ,  気泡流 ,  周波数依存性 ,  洗浄剤
準シソーラス用語： *シリコンウエハ ,  *シリコンウエハ洗浄 ,  *結晶シリコン太陽電池 ,  高周波特性 ,  *製造プロセス ,  洗浄効果 ,  *薄膜太陽電池

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• 北原文雄, 古澤邦夫, 尾崎正孝, 大島広行: ゼータ電位, サイエンティスト社, p102(1995)
• 飯田康夫: ソノプロセスの話--超音波の化学工業利用, 日本工業出版, p7-22(2006)
• 高田誠, ほか: 第13回JICC洗浄フォーラム2009,「洗浄効果に及ぼす超音波周波数および溶存気体 (酸素、水素、窒素)、濃度、水深、温度依存性」, 日本産業洗浄協議会
• 近藤道雄: 太陽光発電の現状と今後の課題, 電気学会誌, 129, 812-816(2009)

タイトルに関連する用語 (3件)： 太陽電池 ,  洗浄 ,  音波