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J-GLOBAL ID：201102258107085243   整理番号：11A1154112

短ギャップ放電で製造したSiH₄/H₂VHFプラズマの特性評価

Characteristics of SiH₄/H₂ VHF plasma produced by short gap discharge

著者 (9件)： NISHIMIYA Tatsuyuki ,  YAMANE Tsukasa ,  NAKAO Sachiko ,  TAKEUCHI Yoshiaki ,  YAMAUCHI Yasuhiro ,  TAKATSUKA Hiromu ,  MUTA Hiroshi ,  UCHINO Kiichiro ,  KAWAI Yoshinobu
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 2  ページ： S411-S414  発行年： 2011年07月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiH₄/H₂VHFプラズマを,マルチロッド電極で作製し,基礎的なプラズマパラメータを圧力と出力の関数として調べ,電源周波数は60Hzである。イオン飽和電流は圧力と同様にある出力でピークを示すことが明らかとなった。これらの結果について,VHF電界での電子捕獲効果の観点から考察した。更に,シース電位の異常な減少が観察された。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *プラズマ ,  プラズマさや ,  放電 ,  イオン電流 ,  *プラズマパラメータ ,  ケイ素 ,  太陽電池 ,  電位 ,  電子捕獲 ,  シラン ,  蒸着膜 ,  水素 ,  蒸着装置 ,  プラズマCVD
準シソーラス用語： *VHFプラズマ ,  電子トラップ ,  イオン飽和電流 ,  短間隙放電 ,  微結晶シリコン ,  シリコン太陽電池

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： ギャップ ,  放電 ,  SiH4 ,  特性評価