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J-GLOBAL ID:201102258196827029   整理番号:11A1418934

金属ナノホールアレイに基づいた誘電厚さ検知センサ

Dielectric Thickness Detection Sensor Based on Metallic Nanohole Arrays
著者 (6件):
資料名:
巻: 115  号: 31  ページ: 15205-15209  発行年: 2011年08月11日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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金属(銀)ナノホールアレイの増強光透過(EOT)と増強蛍光発光(EFE)に基づき,金属ナノホールアレイ表面に蒸着した二酸化ケイ素誘電体層の種々の厚さ測定実験を行った。EOTでは,Wood特異透過デイップが,表面プラズモンポラリトン透過ピークより誘電体厚さ検知に優れていた。また,EFE法が,EOT法に較べ高い誘電体厚さ検知感度を示した。
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分類 (3件):
分類
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原子・分子のクラスタ  ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  薄膜一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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