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J-GLOBAL ID:201102260489560528 整理番号:11A0436821
AlCによるガラス基板への均一なポリ-Si薄膜の作製
Fabrication of uniform poly-Si thin film on glass substrate by AlC
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著者 (1件):
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名寄せID(JGPN) 201550000094528561 ですべてを検索
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資料名:
THIN SOLID FILMS
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JST資料番号 O6387A ですべてを検索
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巻:
451-52
ページ:
485-488
発行年:
2004年
JST資料番号:
O6387A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
その他 (ZZZ)
言語:
英語 (EN)
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