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J-GLOBAL ID:201102260585576800   整理番号:11A1275875

長ダイナミックレンジのGMRに基づく非接触変位検出システムの設計

Design of GMR-based Contactless Displacement Detecting System with Long Dynamic Range
著者 (4件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 57-62  発行年: 2010年 
JST資料番号: C2540A  ISSN: 1000-1158  CODEN: JIXUEU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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長ダイナミックレンジの低原価非接触変位検出は要求された目標になっている。巨大磁気抵抗性(GMR)ベース変位検出システムにおいて,高解像度性能を達成するために,負因子の詳細解析の後,勾配強度比例のカスタマイズ可能高周波磁場源を構築して,長ダイナミックレンジの必要条件を満した。一方,ロックイン増幅により,データインフュージョンを得て,磁場内変位の高解像度検出を実現した。これらの試験の結果,0.1マイクロメータの高感度と,0-100mmのダイナミックレンジを達成した。したがって,設計目標の合理性が証明された。これらの結果から,MEMS設計に利用できるプロトタイプを示した。高精度非接触変位検出を応用すると,生体内の骨の強さを研究できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  磁性一般 

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