文献
J-GLOBAL ID:201102262190692358   整理番号:10A1724701

集団分子とそのアプリケーションから写真平板銅のパタニングへの銅板の光誘導性進化

Photo-induced evolution of copper sheets from cluster molecules and its application to photolithographic copper patterning
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巻: 43  号: 1-3  ページ: 287-290  発行年: 2007年 
JST資料番号: O2202A  ISSN: 1434-6060  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: その他 (ZZZ)  言語: 英語 (EN)

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