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J-GLOBAL ID：201102263028679921   整理番号：11A1327740

ゼオライト改質金属酸化物半導体ガスセンサの識別効果

Discrimination Effects in Zeolite Modified Metal Oxide Semiconductor Gas Sensors

著者 (6件)： BINIONS Russell (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  AFONJA Ayo (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  DUNGEY Sheena (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  LEWIS Dewi W. (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  PARKIN Ivan P. (Univ. Coll. London, London, GBR) ,  WILLIAMS David E. (Univ. Auckland, Auckland, NZL)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 11  号： 5-6  ページ： 1145-1151  発行年： 2011年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多孔性ゼオライトは固体金属酸化物半導体ガスセンサの応答と識別能を強化する。表層としてH-ZSM-5ゼオライトを用い,アルミナ基板上に酸化チタンクロム又は酸化タングステンをスクリーン印刷して厚膜センサを作製し,エタノールとイソプロピルアルコールに対する応答を調べた。このセンサは二種類の気体を弁別できた。ゼオライト層とセンサ要素に発生する拡散過程と反応過程に基づく計算モデルにより識別挙動を解析し,識別は寸法と形状の選別挙動の結果であることを示した。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  ゼオライト ,  改質 ,  アルミナ ,  酸化チタン ,  酸化クロム ,  計算モデル ,  過渡応答 ,  脂肪族アルコール ,  CMOS ,  厚膜センサ ,  三酸化タングステン
準シソーラス用語： 識別 ,  相補性金属酸化物半導体

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (2件)： イソプロピルアルコール ,  エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： ゼオライト ,  改質 ,  金属酸化物半導体 ,  ガスセンサ ,  識別