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J-GLOBAL ID：201102263148789577   整理番号：11A0171670

白金被覆シリコンウェハ上のNiCr/PZT/BaPbO₃キャパシターの分極疲労

Polarization Fatigue of NiCr/PZT/BaPbO₃ Capacitors on Platinized Silicon Wafers

著者 (2件)： SUCHANECK G. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  GERLACH G. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 405  ページ： 1268-1274  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 強誘電スイッチングに基づく電子放出に適用される白金被覆シリコンウェーファー上に堆積したNiCr/Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)/BaPbO₃(BPO)多重層構造の物性および疲労挙動を報告する。PZT/BPO構造は多標的反応性スパッタリングにより調製した。X線回折により堆積した膜の結晶相と微細構造を解析した。4プローブ法により膜の電気抵抗率を測定した。動的および準静的P-Eヒステリシス測定,漏洩電流,そして10⁹スイッチングサイクルまでの分極疲労によりNiCr上部電極をもつPZT/BPO/Ptスタックの電気的性質の評価を行なった。NiCr/PZT/BaPbO₃多重層構造の疲労性質が文献で報告されているPt/PZT/BPOに対するそれに類似していることを見出した。分極はおおよそ分極反転回数の対数のように減衰する。この疲労挙動はNiCr上部電極に帰着された。

シソーラス用語： ケイ素 ,  基板 ,  白金 ,  金属薄膜 ,  *コンデンサ ,  *誘電分極 ,  鉛酸塩 ,  バリウム化合物 ,  X線回折 ,  微細構造 ,  *電気抵抗率 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *誘電体薄膜 ,  *強誘電体 ,  ニッケル ,  クロム ,  合金 ,  *ヒステリシス ,  漏れ電流 ,  *高サイクル疲れ
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  *分極ヒステリシス

分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 白金 ,  シリコンウェハ ,  PZT ,  キャパシター ,  分極 ,  疲労