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J-GLOBAL ID：201102263737092217   整理番号：11A0526049

ガラス研磨加工における加工変質層評価

著者 (3件)： 関根義彦 (埼玉大 大学院) ,  金子順一 (埼玉大 大学院) ,  堀尾健一郎 (埼玉大 大学院)
資料名： 日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
巻： 8th  ページ： 149-150  発行年： 2010年11月19日 
JST資料番号： L3643A  ISSN： 1348-3943  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガラスの加工変質層厚さ評価は難しく現材まで高精度な評価手法は確立されていない。本研究では,薄層除去による形状変化測定法をガラス材料に適用し,研磨加工で発生する加工変質層厚さの評価を可能とした。本報ではまず,ソーダガラス,BK7等のガラス試料表面を安定的に薄層除去するエッチング手法を検討し,時間あたりの除去量のばらつきが少ない加工を実現した。次に,薄層除去による試料の形状変化の測定結果より,形状変化測定法がガラス材料に適用可能であるこことを示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *加工変質層 ,  *研磨 ,  変化 ,  *ソーダガラス ,  薄膜 ,  *エッチング ,  *基板 ,  *電気装置部品
準シソーラス用語： 形状変化 ,  薄層 ,  *ガラス基板

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス ,  研磨加工 ,  加工変質層 ,  評価