KITAJIMA Takeshi について
National Defense Acad., Kanagawa, JPN について
NAKANO Toshiki について
National Defense Acad., Kanagawa, JPN について
プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) について
プラズマCVD について
誘電体薄膜 について
蒸着膜 について
薄膜成長 について
酸化膜 について
ハフニウム化合物 について
二酸化ケイ素 について
表面粗さ について
酸化物 について
窒化物 について
ケイ素化合物 について
ゲート絶縁膜 について
ゲート誘電体 について
高誘電率薄膜 について
酸窒化物 について
酸化物薄膜 について
薄膜成長 について
自己集合 について
ナノ粒子 について
基礎 について
プラズマ について
誘起 について
化学 について