抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,ダイアモンドライクカーボン(DLC)膜をバイポーラープラズマベースのイオン注入および堆積(PBII&D)により作製し,Si基板上に堆積したDLC膜の構造的および機械的特性をラマン分光により評価した。PBII&Dプロセスにおいて,正および負のパルス電圧を,それぞれ1から3kVおよび-1から-15kVまで変化させた。パルス電圧の増大と共に,ラマンGピーク位置とI(D)/I(G)比は大きくなり,Gピークの半値前幅(FWHM(G))は小さくなった。このことはDLC膜のグラファイト化を示している。低い波数域で,Gピークがより高い波数にシフトする時,FWHM(G)は大きくなり,1540cm<sup>-1</sup>付近で最大値に達し,その後低下した。この挙動は波数の増大と共にDLC膜に構造変化が生じることに起因する。低波数域でDLCから高分子状カーボン(PLC)変態が生じ,高い波数域でDLCからグラファイト状カーボン(GLC)変態が生じた。さらに,DLCからGLCおよびPLCへの構造変化に起因した,DLC膜の機械的特性(硬度,弾性率および内部応力)とFWHM(G)との間に2つの異なる傾向が観察された。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.