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J-GLOBAL ID：201102264872520640   整理番号：11A0860444

超高純度製品用の電磁アクチュエータを有する高ダイナミクス低コスト流量制御

HIGH-DYNAMICS LOW-COST FLOW CONTROL WITH SOLENOID ACTUATOR FOR ULTRA-HIGH PURITY APPLICATIONS

著者 (5件)： WARBERGER B. (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  FELLER J. (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  GUNTERMANN C. (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  NUSSBAUMER T. (Levitronix GmbH, Zurich, CHE) ,  KOLAR J. W. (ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名： IET Conference Publications  (IET Conference Publications)
巻： 563 Vol.2  ページ： 949-953  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0665A  ISSN： 0537-9989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では,高純度あるいは腐食性化学用途などのような繊細な流体処理応用の広範囲な要求に対応でき,非常に簡単で低コストの流量制御を提案した。流量制御をぜん動ポンプを有する精密な混合システム用に設計した。耐薬品性チューブを絞る高速電磁アクチュエータにより流量を設定した。電磁駆動弁,超音波ベースの流量測定を備えた新たな方式により,低価格,迅速な応答時間と精密な流量制御を可能にした。機械的セットアップおよび適用構成部品の特性に続いて,閉ループ制御だけでなく,流量とバルブストロークの測定についても詳細に検討した。流量制御の性能を実験プロトタイプによって試験した。その結果により提案した流量制御は高性能標準商用高純度流量制御システムに負けない特性を有していることを示した。

シソーラス用語： *流量制御 ,  *アクチュエータ ,  純度 ,  容積形ポンプ ,  耐化学性 ,  *流量測定 ,  応答時間 ,  制御 ,  プロトタイプ ,  動力学 ,  原価 ,  長さ
準シソーラス用語： コスト ,  ストローク【長さ】 ,  ダイナミックス ,  高純度 ,  耐薬品性 ,  電磁アクチュエータ ,  閉ループ制御 ,  蠕動ポンプ

分類 (2件)： 撹はん,混合  (XD02040M) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高純度 ,  電磁アクチュエータ ,  ダイナミクス ,  流量制御