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文献
J-GLOBAL ID:201102266575833365   整理番号:11A0243402

LIBWE法によるシリカガラス微細構造の迅速なプロトタイピング:深い微細溝の作製

Rapid prototyping of silica glass microstructures by the LIBWE method: Fabrication of deep microtrenches
著者 (5件):
資料名:
巻: 182  号:ページ: 319-324  発行年: 2006年 
JST資料番号: O4025A  ISSN: 1010-6030  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: その他 (ZZZ)  言語: 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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