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J-GLOBAL ID：201102267336417267   整理番号：11A0568627

CVDによる周期的に変動する六方プリズムを有するSiCナノワイヤのミクロ組織と成長機構

Microstructure and growth mechanism of SiC nanowires with periodically fluctuating hexagonal prisms by CVD

著者 (6件)： CHU Yanhui (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN) ,  FU Qiangang (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHANG Zhengzhong (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN) ,  LI Hejun (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN) ,  LI Kezhi (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN) ,  LEI Qin (Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 508  号： 2  ページ： L36-L39  発行年： 2010年10月22日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造の物質の性質はその形態によっても大きく変化する。本研究においては,SiCのナノ構造に着目し,周期的な形態変動を有するナノワイヤの調製を行なった。黒鉛ルツボ中にボールミル混合したSiO₂,SiおよびCの粉末を入れ,黒鉛基板をその上に載せ黒鉛製の蓋をした後,Arガス通流雰囲気において1773~1873K,0.5~2h加熱処理した。これによって得たSiCを走査型電子顕微鏡,透過型電子顕微鏡,X線回折およびRaman散乱を用いてキャラクタリゼーションを実施した。この結果,得たSiCは[111]方向に成長したナノワイヤでその形態は周期的な六方プリズムを有するものであった。その成長はVS(蒸気-固体)機構であると推定した。

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  *ナノワイヤ ,  化学蒸着 ,  結晶形態 ,  *結晶成長

分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (6件)： CVD ,  プリズム ,  SiC ,  ナノワイヤ ,  ミクロ組織 ,  成長