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J-GLOBAL ID：201102268408824969   整理番号：11A1080515

光パターン形成性の超常磁性ナノ複合材料:材料特性化と微細構造の作製

A photopatternable superparamagnetic nanocomposite: Material characterization and fabrication of microstructures

著者 (9件)： SUTER M. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  ERGENEMAN O. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  ZUERCHER J. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  MOITZI C. (Adolphe Merkle Inst., Univ. of Fribourg, Rte de l’Ancienne Papeterie, P.O. Box 209, 1723 Marly, CHE) ,  PANE S. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  RUDIN T. (Particle Technol. Lab., ETH Zuerich, Sonneggstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  PRATSINIS S.e. (Particle Technol. Lab., ETH Zuerich, Sonneggstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  NELSON B.j. (Multi-Scale Robotics Lab, Inst. of Robotics and Intelligent Systems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE) ,  HIEROLD C. (Micro and Nanosystems, ETH Zuerich, Tannenstrasse 3, 8092 Zuerich, CHE)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 156  号： 1  ページ： 433-443  発行年： 2011年08月10日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超常磁性磁鉄鉱ナノ粒子をエポキシSU-8に分散することによって得られる超常磁性ナノ複合材料を用いて,フォトリソグラフィーによって微細構造を作製した。光学顕微鏡法,TEM(透過型電子顕微鏡),SAXS(小角X線散乱),XDC(X線円板遠心分離機)及びXRD(X線回折)によって,ナノ粒子の分散及び凝集の水準を解析した。二つの異なった燐酸-ベースの分散剤を比較した。高品質のナノ複合材料を得るために,スピンコーティング及びUV曝露のような複合材料の作製段階に及ぼす粒子濃度1~10vol.%(4~32wt.%)の影響を系統的に解析した。5vol.%粒子濃度を持つ複合材料について,狭い幅(1.3μmまで)を持つ特徴が得られる。ナノ複合材料の機械,磁気的性質及び膨潤性を特性化した。これらのナノ複合材料は,10vol.%当り27.9kAm^-1までの飽和磁化を持つ優れた超常磁性を示す。ナノ複合材料は,すべて純粋SU-8と比較して表面極性の違いを示さず,そして中程度の疎水性挙動(前進式動的接触角約81°)を示す。0~5vol.%の粒子濃度を持つ微小片持梁を作製することに成功し,そして複合材料の動的Young率を測定するために用いた。4.1GPa(純粋SU-8)から5.1GPa(5vol.%)までの粒子濃度増大に伴うYoung率の僅かな増大が観察された。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  *超常磁性 ,  ナノ粒子 ,  *磁鉄鉱 ,  *フォトレジスト ,  *フォトリソグラフィー ,  パターン形成 ,  体積率 ,  接触角 ,  片持梁 ,  マイクロマシニング ,  Young率 ,  濃度依存性 ,  多官能性エポキシ樹脂 ,  X線回折分析 ,  小角X線散乱 ,  光学顕微鏡法 ,  分散粒子 ,  電子顕微鏡観察 ,  スピンコーティング ,  紫外線照射 ,  高分子ナノ複合材料 ,  磁鉄鉱ナノ粒子 ,  *フォトレジストSU-8
準シソーラス用語： *SU-8 ,  微小片持梁

分類 (3件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  充填剤,補強材  (YH05030J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： パターン形成 ,  常磁性 ,  ナノ複合材料 ,  材料特性 ,  微細構造 ,  作製