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J-GLOBAL ID：201102268656896283   整理番号：11A1575944

ガス感応層を有するランガサイトSAWデバイス

Langasite SAW Device with Gas-Sensitive Layer

著者 (13件)： ZHENG Peng (National Energy Technol. Lab., PA, USA) ,  ZHENG Peng (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  CHIN Tao-Lun (National Energy Technol. Lab., PA, USA) ,  CHIN Tao-Lun (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  GREVE David (National Energy Technol. Lab., PA, USA) ,  GREVE David (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  OPPENHEIM Irving (National Energy Technol. Lab., PA, USA) ,  OPPENHEIM Irving (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  MALONE Vanessa (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  ASHOK Tejasvi (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  MILLER James (National Energy Technol. Lab., PA, USA) ,  MILLER James (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  CAO Limin (Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2010 Vol.2  ページ： 1462-1465  発行年： 2010年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温センシングのための基板であるランガサイト(La₃Ga₅SiO₁₄)を用いたSAW酸素センサについて検討した。抵抗センシング層としてはZnOを使用した。ランガサイトの融点は1470°Cである。ウェハの径は76mm,厚さは0.5mmである。ZnOのフィルムの厚さは200nmである。650°Cまでの試験を行った。酸素分圧に関連した相の変化が500と650°Cの間で観測された,ZnO導電性における酸素誘起変化によって生じる。スパッタZnOセンシングフィルムのデバイスは650°Cまで検出可能である。

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,  圧電材料 ,  透明導電膜 ,  酸素センサ ,  分圧 ,  スパッタリング
準シソーラス用語： SAWデバイス ,  *ランガサイト ,  *ZnO薄膜 ,  酸素分圧

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (2件)： ランガサイト ,  SAWデバイス