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J-GLOBAL ID：201102270160072200   整理番号：11A0478575

可逆的な高速静電「コンタクト」

Reversible High-Speed Electrostatic “Contact”

著者 (2件)： BAGINSKY I.L. (Inst. Automation and Electrometry, Russian Acad. Sci., Novosibirsk, RUS) ,  KOSTSOV E.G. (Inst. Automation and Electrometry, Russian Acad. Sci., Novosibirsk, RUS)
資料名： Semiconductors  (Semiconductors)
巻： 44  号： 13  ページ： 1654-1657  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： T0093A  ISSN： 1063-7826  CODEN： SMICES  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二つの固体表面を静電場エネルギーを用いて可逆的に接着する新たな科学的および技術的な方法を示す。この方法は,誘電率の比が大きい二つの固体の間の界面近傍に,非常に高い電場が形成されるという効果を利用している。具体的には,誘電率が3000~5000のニオブ酸ストロンチウムバリウム(SBN)薄膜と酸化インジウムスズ(ITO)電極から成る構造を考え,この系に100V程度の電圧パルスを印加した。この系では,10⁸J/m³に至る異常に大きい電場エネルギー密度と10⁴N/m²に至る圧力が発生することが分かった。その結果として,二つの固体表面の間の狭い空隙には構造のエネルギー容量に依存して,(3~5)×10⁵N/J程度の接着力が生まれることが明らかになった。

シソーラス用語： *静電場 ,  静電エネルギー ,  *接着 ,  誘電率 ,  *ストロンチウム化合物 ,  *ニオブ酸塩 ,  *バリウム化合物 ,  *酸化インジウムスズ ,  電圧 ,  圧力 ,  付着力
準シソーラス用語： *SBN【ニオブ酸塩】 ,  電圧パルス ,  接着力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (1件)： コンタクト