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J-GLOBAL ID：201102270770819951   整理番号：11A0292487

誘導結合酸素プラズマによるポリ(エチレンテレフタレート)高分子薄膜の表面改質

Surface Modification of Poly(ethylene terephthalate) Polymeric Films by Inductively Coupled Oxygen Plasma

著者 (7件)： HAN Dong Cheul (Gumi Electronics and Information Technol. Res. Inst., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  CHOI Young Cheol (Gumi Electronics and Information Technol. Res. Inst., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  SHIN Han Jae (Gumi Electronics and Information Technol. Res. Inst., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  SON Sunyoung (Gumi Electronics and Information Technol. Res. Inst., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  KIM Jae Hong (Yeungnam Univ., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  SOHN Sang Ho (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  LEE Do Kyung (Gumi Electronics and Information Technol. Res. Inst., Gyeongsangbuk-do, KOR)
資料名： Molecular Crystals and Liquid Crystals  (Molecular Crystals and Liquid Crystals)
巻： 532  ページ： 564-571  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0877A  ISSN： 1542-1406  CODEN： MCLCE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリ(エチレンテレフタレート)(PET)フィルムの表面を,反応性酸素ガスを用いた高密度誘導結合プラズマ法(ICP)で改質した。ICP改質PET膜の表面特性に与える,ICPアンテナ適用RF出力の影響について検討した。これはAFM,XRD,および接触角測定によって特性化した。またプラズマ中のイオン密度の変動を,RF出力の関数として追跡した。PET膜へのICP曝露のXPSスペクトル実験結果のC1sピーク補正から,表面上のO-C=OとC-Oなど酸素含有官能基の増加を明らかにした。また,蒸留水に対する接触角は接着エネルギーの増加に伴い,RF出力増加の低下をきたした。

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  酸素 ,  *ポリエチレンテレフタレート ,  *RFスパッタリング ,  *高分子薄膜 ,  *表面改質 ,  接触角 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線回折 ,  イオン密度 ,  表面粗さ ,  表面性状 ,  *X線光電子分光法 ,  出力 ,  電磁結合
準シソーラス用語： 誘導結合

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子と低分子との反応  (CG03020L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導結合 ,  酸素プラズマ ,  エチレン ,  テレフタレート ,  高分子薄膜 ,  表面改質