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J-GLOBAL ID：201102272164756750   整理番号：11A0836450

太陽電池用途のための2つのスケール粗さ,自己洗浄および低反射率ケイ素表面

Two Scale Roughness, Self-Cleaning, and Low Reflectivity Silicon Surface for Solar Cell Applications

著者 (4件)： XIU Yonghao (School of Chemical and Biomolecular Engineering, GA, USA) ,  XIU Yonghao (School of Materials Sci. and Engineering, GA, USA) ,  LIU Yan (School of Materials Sci. and Engineering, GA, USA) ,  WONG C. P. (School of Materials Sci. and Engineering, GA, USA)
資料名： ACS Symposium Series (American Chemical Society)  (ACS Symposium Series (American Chemical Society))
号： 1034  ページ： 81-93  発行年： 2010年 
JST資料番号： H0588B  ISSN： 0097-6156  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2nm,5nmおよび10nmのAu層を有するケイ素表面のAu支援エッチングを調べた。1~10Ωの抵抗を有するp型ケイ素ウエハを用いた。KOHエッチングをKOH,水およびイソプロピルアルコールの溶液を用い,80~85°C,20~30minの条件で行い2~4μm高さのピラミッド構造をつくった。SEMで表面モルホロジーを観察した。ナノ構造表面を拡散反射率測定でキャラクタリゼーションした。その結果,次のことが分かった。1)エッチング時間が大きくなると大きな深さを有する表面構造が得られる,2)表面モルホロジーは短いエッチング時間の小さなナノ構造から長いエッチング時間の大きなサブミクロンの構造に変化する,3)Au層が厚くなると接触角が大きくなる。

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  *太陽電池 ,  金 ,  *エッチング ,  水酸化カリウム ,  ナノ構造 ,  表面構造 ,  接触角 ,  表面粗さ ,  反射率 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *シリコン太陽電池 ,  表面モルフォロジー

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 太陽電池 ,  用途 ,  スケール ,  粗さ ,  自己洗浄 ,  反射率 ,  ケイ素